CCD系列电动超高真空插板阀

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产品描述:CCD系列电动超高真空插板阀
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适用范围(Pa) 105 ~ 1.3×10 - 7。结果
漏气率(Pa.L/S) ≤1.3×10-7
≤1.3×10-7
阀的焙烧温度(℃) ≤150(除驱动装置外)
开启阀板时的压差(Pa) ≤3×103
电力供应的压力 AC220V / 50赫兹
开或关时间 ≤50

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