真空镀膜玻璃扩散泵

真空镀膜技术是利用掩模生产激光唱片(CD)上的铝镀膜和印刷电路板上的金属镀膜。真空中薄膜的制备包括沉积结晶金属、半导体、绝缘体等简单或复合薄膜。化学气相沉积虽然也使用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般的真空镀膜是指通过物理方法沉积薄膜。真空镀膜有三种类型:蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜。蒸发镀膜称为蒸发镀膜,它是通过加热使某些物质沉积在固体表面。

玻璃镀膜扩散泵

扩散泵作为涂层真空系统的主泵已经使用了几十年。

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凭借长期的经验,我们为镀膜机提供优化的真空解决方案。

扩散泵和机械泵

EVP真空系统产品亚博vip官网AG亚博 ,app亚博 ,罗茨泵,扩散泵可以满足涂料工业的应用。

我们采用机械泵和油扩散泵来实现高真空条件。但是,扩散泵不能没有后备泵单独工作,所以在高扩散泵工作之前,必须用机械泵泵送。扩散泵需要预热。待真空度合适后,将低真空阀置于扩散泵侧面,然后慢慢打开高真空阀。扩散泵与机械泵相结合,可将腔内压力降低至7×10-4 Pa左右。

真空镀膜技术
在运行泵之前,先打开它的角阀,然后过程泵将工作吸扩散泵。当扩散泵内的真空压力达到5pa时,开始加热。当工艺泵开始工作时,请打开预抽阀,启动机械泵。一旦预泵系统达到500Pa,启动罗茨泵。当达到0.5 Pa且扩散泵加热时间足够时(型号小于320:40分钟;500~603型号:60分钟;800~900: 70分钟,1000~1600:90分钟),开启前级阀,关闭预泵,关闭角阀,关闭过程泵,打开高阀,让整个机组工作。

扩散泵安装前应清洗干净,然后再注扩散油。加热油前,应先对泵抽真空。停机前应将扩散泵油冷却至60-70℃,然后关闭前级泵,最后关闭冷却水。

特别注意:关闭扩散泵的加热电源后,扩散泵内的冷却水、预抽泵和过程泵不能立即停止。

编辑:侯安妮;版权所有:EVP真空泵

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