磁悬浮分子泵特性

油润滑、油脂润滑及磁悬浮分子泵特点:

分子泵是一种真空泵,通过转子的高速旋转将气体传递到气体分子以获得方向速度,气体分子将被压缩并被驱动到排气口。

根据转子结构特性,分子泵的区别如下:

1.涡轮分子泵(通过高速旋转的动叶和静止叶片来实现对气体的抽取。该泵通常在分子流动状态下工作。
2.拖动分子泵(气体分子与高速转子碰撞以获得势头并被驱动到泵的出口。)
3.混合分子泵(一种由涡轮分子泵和阻力分子泵组合而成的复合式分子泵)。
转子如图所示(1)所示

混合分子泵

下面我们将讨论涡轮分子泵的分类和特点:

涡轮分子泵是一种新型的分子泵真空泵在分子流动状态下,通过使用机械动能气体使分子直接压缩和流动。分子泵是获得清洁真空环境的良好选择。由于涡轮分子泵在某种情况下比低温泵,离子泵和扩散泵更好。因此,涡轮机构泵在正常情况下选择。

涡轮分子泵结构如图(2)所示:

涡轮分子泵

区分轴承特性,EVP分子泵可分为以下三类:

1.油润滑分子泵
2.油脂润滑分子泵
3.磁悬浮分子泵
油润滑分子泵特点:轴承采用油润滑。
大多数涡轮分子泵转子都采用油润滑轴承。因为这个轴承在转子的排气侧,油蒸汽不会到达涡轮分子泵的进口。
在高压结束时,通过轴承的油流可用于消散气体摩擦热量。在低压下,油本身的摩擦会导致转子温度增加。
润滑脂润滑分子泵特点:轴承采用润滑脂润滑。
通常低有效粘度和非常低的轴承的轴承,以防止涡轮分子泵免受误操作,特别是当转子以高速运行以防止高速油进入入口。
油和润滑脂润滑的分子泵也称为机械轴承分子泵。其油脂或油脂的性能必须符合以下三种条件:
A.高速时具有良好的润滑性能;
B.饱和蒸气压低于背泵泵。
C.适当的粘度以及轴承冷却施用。

机械轴承分子泵特性如下:

(1)清洁,没有油气回流。机械轴承分子泵可按操作规程工作,无陷阱。它可以为抽出的容器提供一个非常干净的真空环境,并且不含任何碳氢化合物。
(2)易于使用。在许多应用中,机械轴承的分子泵不需要高真空阀或粗糙的真空阀。亚博一倍流水提现什么意思按下按钮,泵开始工作。而机械轴承分子泵安装方向不受限制,可以在任何方向上安装。
(3)输气能力强。大多数机械轴承分子泵都能强大地输送轻气体,如氢和氦。因此非常适合于超高真空工艺操作。
(4)适用于超高真空应用。一个良好的密封和脱气机械轴承分子泵,再加上双级旋转叶片泵的良好性能(或对干泵的相同性能),极致真空通常达到10-9〜10-10torr(I133.3〜13.33 NPA)。如果分子泵与另一个具有良好密封和脱气金属泵的分子泵连接,则一般限制压力为1×10-10〜1×10-11torR(13.33〜1.333NPA)。
(5)高压下的良好性能。一些分子泵入口压力在10-1〜10-3torr(13.33Pa〜133.3MPa)中起作用。
(6)循环时间短。大多数分子泵,特别是较小的分子泵,大约需要1 ~ 3min才能达到正常运行速度。
(7)正常工作时使用时间长。在某些应用中,分子泵的正常使用要优于其他泵。
磁性悬浮分子泵使用磁力使转子悬挂在空气中,使转子和定子在工作时不接触。

其特点如下:

(1)没有任何油,可以是完全非油。
(2)由于转子和定子之间没有机械接触,轴承的寿命很长,
(3)与传统轴承相比,转子可高速工作。
(4)振动和噪声低。
(5)泵安装不受限制,可以以任何角度安装。
(8)转子采用高强度铝合金高速铣削成型
(9)自平衡技术振动最小
与普通的分子泵相比,其轴承不需要润滑,对石油污染没有问题。

磁悬浮分子泵轴承是最关键的部件,参考图(3)如下:

分子泵

EVP不仅提供了单分子泵,还提供了分子泵系统,参考图片如下:

标签:分子泵,杂交分子泵,油脂润滑分子泵
编辑:Nancy Zhang / EVP vacuum solution

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