PVD镀膜机真空系统

真空泵系统有很好的应用,如真空镀膜,真空包装,真空炉,这里我们将介绍真空镀膜机的真空系统。

通常我们用KT系列油扩散真空泵作为主泵,ZJP系列roost真空泵(罗茨增压泵)作为二级泵,H系列机械泵作为一级真空泵。有时我们也使用2X-A系列旋转叶片真空泵作为保持泵。例如:Ø1800mm×H2000mm尺寸的PVD镀膜机,我们使用2套KT-800, 1套ZJP-1200, 4套2X-70A系统。请核对差额如下:

1.2 - a型旋转叶片真空泵作为持泵。

2.活塞式真空泵作为第一真空泵

如有任何疑问,请与我们联系,我们可以寄给你一个很好的真空解决方案,谢谢。

标签:油扩散真空泵,系统真空泵

编辑:Lany SHEN (EVP Vacuum Solution)

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