真空镀膜工业真空泵

关于真空镀膜设备
真空在许多金属、塑料或玻璃以蒸汽形式沉积的镀膜操作中起着决定性的作用。在许多情况下,没有真空这些过程是不可能的。在过程开始时,将一个中等或高的真空应用到腔室中进行抽离,之后反应气体被提取或固体原料被蒸发。

所有这些工序都将通过真空镀膜机来实现。通常真空镀膜机可分为以下四个部分:
1.真空室-真空主体
真空室由不锈钢材料制成,防锈和坚固。其每个部件通过关节阀连接到真空泵。
2.真空系统-辅助排气系统
该系统是真空镀膜设备的重要组成部分;主要包括机械泵+增压泵(根真空泵) +油扩散泵。

机械泵又称预真空泵,如:app亚博 、旋叶式真空泵、往复式真空泵。等。机械泵的工作原理是利用机械方法保持密封效果,改变腔体容积,使气体在容器容积内不断膨胀,从而获得真空度。

增压泵也称为根泵。由于其工作校长与根鼓风机类似,因此它被称为根真空泵。泵不能单独使用,必须用作助推器和诸如机械泵的背泵的助推器。
对于高真空应用,我们提供涡轮分子真空泵油扩散真空泵,它与前泵的组合可以配置,以适应涂层过程精确。

油扩散泵泵速高,工作压力从10- 2pa到10- 5pa,操作方便,使用寿命长。
3.涂层系统 - 蒸发系统
蒸发系统主要是指成膜装置。如:电阻加热、电子枪蒸发、射频溅射、离子镀等。

我们的EVP真空技术可广泛应用于以下涂层工艺:
蒸发真空镀膜
真空溅射镀膜
物理气相沉积
化学气相沉积(CVD)
等离子体增强沉积真空涂层
金属化真空镀膜
4.控制系统
控制系统由控制柜、变压器和控制台三部分组成。

所有这些工艺都有一个共同的要求:一个完全可靠的介质或高真空室,精确匹配涂层工艺。这种涂层操作是为了改变材料的表面特性,如硬度或耐腐蚀能力。真空镀膜也可用于改善材料的粘接或润湿质量,或使表面永久疏水或亲水。

我们的真空系统为所有类型的真空镀膜工艺提供量身定制的组件。

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